20世纪微米的发明人是理查德·费曼（Richard Feynman），他在1959年提出了概念，并发表了一篇题为《至少有更小的事物》的演讲，推动了微米技术的发展。微米技术已经被广泛应用于电子、光学、材料科学等领域，成为当代科技的重要基础。
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