光刻胶是一种有机化合物,被紫外光曝光后在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面,而后被干燥成胶膜。储存时间短保质期短暂,有效期仅90天,粘附性,抗蚀性,耐热稳定性、抗刻蚀能力,具有比较小的表面张力,使光刻胶具有良好的流动性和覆盖。
光刻胶和光刻机有什么区别
光刻机和光刻胶有区别吗?
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